截至9月29日收盤，上證科創(chuàng)板半導體材料設備主題指數(shù)強勢上漲2.60%，成分股盛美上海上漲9.99%，京儀裝備上漲9.18%，拓荊科技上漲5.52%，中微公司，安集科技等個股跟漲。科創(chuàng)半導體ETF（588170）上漲2.37%，最新價報1.51元。

從資金凈流入方面來看，科創(chuàng)半導體ETF近8天獲得連續(xù)資金凈流入，最高單日獲得6.32億元凈流入，合計“吸金”14.90億元，日均凈流入達1.86億元。

展望10月， 招商證券指出，行業(yè)布局主要圍繞高景氣延續(xù)與困境反轉的領域展開：高景氣延續(xù)領域主要集中在AI與人形機器人產業(yè)鏈，在海內外算力投入持續(xù)增加的背景下，板塊增長勢頭強勁，三季報業(yè)績有望延續(xù)領先增長；重點關注半導體、計算機設備、軟件開發(fā)、自動化設備、游戲等。

相關ETF：公開信息顯示， 科創(chuàng)半導體ETF （588170）及其聯(lián)接基金（A類：024417；C類：024418）跟蹤上證科創(chuàng)板半導體材料設備主題指數(shù)，囊括科創(chuàng)板中 半導體設備 （59%）和半導體材料（25%）細分領域的硬科技公司。 半導體設備 和材料行業(yè)是重要的國產替代領域，具備國產化率較低、國產替代天花板較高屬性，受益于人工智能革命下的半導體需求擴張、科技重組并購浪潮、光刻機技術進展。

半導體材料ETF （562590）及其聯(lián)接基金（A類：020356、C類：020357），指數(shù)中半導體設備（59%）、半導體材料（24%）占比靠前，充分聚焦半導體上游。